主要根據多微孔活性炭的吸附性能和活性炭在高溫狀態所表現的脫附性質而將有機物分別吸附和脫附，即采用活性炭多微孔的特性吸附有機廢氣，當活性炭吸附飽和后用熱空氣脫附再生，通過控制脫附過程流量可將有機廢氣濃度濃縮10-20倍。脫附后的有機廢氣經催化燃燒系統加熱至250℃左右，在催化劑作用下起燃，催化燃燒將C、H化合物氧化為CO2和H2O等，燃燒效率可達97%以上。

燃燒后并釋放出大量熱量，該熱量通過催化燃燒系統內的熱交換器，一部分再用來加熱脫附出的高濃度廢氣，另外一部分用來加熱外來的空氣，做活性炭脫附氣體使用。

一般達到脫附、催化燃燒自平衡過程須啟動電加熱器1小時左右，達到熱平衡后關閉電加熱裝置，這時再生處理系統靠廢氣中的有機成分做燃料，無須外加能源即可實現再生過程自平衡循環，極大地減少能耗，且無二次污染。